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一家深圳企业制造了一个可测量1纳米的工业尺子:可以直接测量芯片

发布时间:2023-12-09 13:49:30

据央视财经日前报道,快科技12月7日消息,其专业化、特新化 深圳中图仪器有限公司制造强国系列节目报道。

经过18年的精心打磨,公司不断拓展工业测量领域的全尺寸链条,从纳米到100米,从接触到非接触。

据公司董事长马俊杰介绍,该公司生产的显微测量仪,分辨率已达0.1纳米,芯片已广泛应用于半导体领域,可直接测量。

例如,在显微测量仪下,一个看似光滑的晶圆表面看起来仍然错落有致。测量后,高差仅为6.1纳米,但仍需切割成较小的方块使用。

另外,他们公司生产的闪测仪,测量速度非常快,他手机上的精密结构只需几秒钟,直接显示了几百个尺寸,达到了微米级的精度。

除了小型结构部件外,他们的团队还可以测量巨大的工业部件,开发的激光跟踪仪可以测量100米的尺寸,是唯一具有微米级测量精度和100米工作空间的高性能光电仪器。

据悉,马俊杰毕业于清华大学精密仪器专业。后来,在研究所工作期间,他发现实验室里所有的精密仪器都来自国外,这让他有了创业做国产几何测量仪的想法。

虽然他们公司在过去的18年里只制造了15台测量仪器,但每台都非常独特,可以解决工业生产中的测量痛点。


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